%0 Journal Article
%T 同步辐射X射线光刻初步实验结果
%A 刘泽文
%J 科学通报
%P 572-572
%D 1994
%X 光束线由前端、Be窗、激光对准、曝光快门、镜箱、3个VAT气动阀、差分系统、单次曝光机及微机测量控制系统等组成.
%U http://csb.scichina.com:8080/CN/abstract/abstract363175.shtml