c轴取向PbTiO_3薄膜的制备与结构分析
, PP. 1561-1561
Keywords: 浸渍提拉,PbTio,薄膜,取向,SrTio_3,结构
Abstract:
一、引言钛酸铅PbTiO_3,是一种优良的热释电材料.特别是c轴取向的PbTiO_3薄膜,c轴就是极化轴,热释电系数r约为2.5×10~(-8)C/cm~2·K,热容量小,沿c轴的相对介电常数8_r~6小(约100),热释电品质因素较PbTiO_3,晶体有明显提高.因此有希望成为高性能指数,高灵敏度的传感器材料.目前,人们利用射频磁控溅射法已生长出口轴取向PbTiO_3薄膜.
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