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科学通报 1998
利用原子力显微镜在Au-Pd合金膜上制备纳米结构, PP. 1950-1953 Keywords: Au-Pd合金膜,原子力显微镜,纳米加工,机械刻蚀 Abstract: 利用自行开发的SPM刻蚀系统在AuPd合金膜上成功地机械刻划出纳米尺度的孔洞、沟槽和复杂的图形,最小线宽达25nm.该系统可以很方便地用来加工所需要的任意纳米图形,并且AFM图象表明机械刻划出来的纳米结构非常清晰,真实地反映出待刻图形的细节而没有变形,这说明该刻蚀系统具较高的可靠性和可控性.同时,实验结果表明我们制得的AuPd合金膜非常平整并具备优良的机械刻划性能,它可以被用作为制备纳米器件的掩膜或直接用于纳米结构的制备.
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