%0 Journal Article
%T 利用原子力显微镜在Au-Pd合金膜上制备纳米结构
%A 陈海峰
%A 宋家庆
%A 李春增
%A 蔡生民
%A 刘忠范
%J 科学通报
%P 1950-1953
%D 1998
%X 利用自行开发的SPM刻蚀系统在AuPd合金膜上成功地机械刻划出纳米尺度的孔洞、沟槽和复杂的图形,最小线宽达25nm.该系统可以很方便地用来加工所需要的任意纳米图形,并且AFM图象表明机械刻划出来的纳米结构非常清晰,真实地反映出待刻图形的细节而没有变形,这说明该刻蚀系统具较高的可靠性和可控性.同时,实验结果表明我们制得的AuPd合金膜非常平整并具备优良的机械刻划性能,它可以被用作为制备纳米器件的掩膜或直接用于纳米结构的制备.
%K Au-Pd合金膜
%K 原子力显微镜
%K 纳米加工
%K 机械刻蚀
%U http://csb.scichina.com:8080/CN/abstract/abstract365727.shtml