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科学通报 1999
低压气相金刚石中杂质氢的红外光谱研究, PP. 998-1001 Keywords: 金刚石,杂质氢,CVD,Fourier变换红外光谱 Abstract: 在直流弧光放电等离子体化学气相法生长的薄膜金刚石上观察到2852.4,2924.3,2963.0和3034.9cm-1的红外吸收谱峰,前3条波峰为sp3结构的C—H振动吸收,3034.9cm-1为sp2结构的C—H振动吸收.研究了CH4浓度和H2流量对C—H振动吸收的影响.电子顺磁共振研究表明,在低压气相薄膜金刚石中存在相当浓度的缺陷.
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