%0 Journal Article
%T 低压气相金刚石中杂质氢的红外光谱研究
%A 傅慧芳
%A 张湘辉
%A 颜恩涛
%A 刘顺生
%J 科学通报
%P 998-1001
%D 1999
%X 在直流弧光放电等离子体化学气相法生长的薄膜金刚石上观察到2852.4,2924.3,2963.0和3034.9cm-1的红外吸收谱峰,前3条波峰为sp3结构的C—H振动吸收,3034.9cm-1为sp2结构的C—H振动吸收.研究了CH4浓度和H2流量对C—H振动吸收的影响.电子顺磁共振研究表明,在低压气相薄膜金刚石中存在相当浓度的缺陷.
%K 金刚石
%K 杂质氢
%K CVD
%K Fourier变换红外光谱
%U http://csb.scichina.com:8080/CN/abstract/abstract366705.shtml