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ISSN: 2333-9721
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科学通报  1986 

脉冲激光诱导蒸气沉积硅薄膜

, PP. 1000-1000

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Abstract:

近年来,激光诱导化学反应研究的很广泛。激光的频率调谐到与分子的振荡能级相匹配时,分子的振动模式将受到很大影响。类似分子的激发,可以导致在基板上沉积固体薄膜。硅薄膜在太阳能材料和半导体工业方面是很重要的。它可用不同的方法来制备,其中化

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