%0 Journal Article
%T 脉冲激光诱导蒸气沉积硅薄膜
%A 杨静然
%J 科学通报
%P 1000-1000
%D 1986
%X 近年来,激光诱导化学反应研究的很广泛。激光的频率调谐到与分子的振荡能级相匹配时,分子的振动模式将受到很大影响。类似分子的激发,可以导致在基板上沉积固体薄膜。硅薄膜在太阳能材料和半导体工业方面是很重要的。它可用不同的方法来制备,其中化
%U http://csb.scichina.com:8080/CN/abstract/abstract357137.shtml