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ISSN: 2333-9721
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煤炭工程  2013 

微机电系统电容式微位移检测电路研究

DOI: doi:10.11799/ce201312031, PP. 88-90

Keywords: 微机电系统,电容式微位移检测,二极管解调,灵敏度

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Abstract:

针对通常微机电系统(MEMS)器件或仪表中微小位移/角度等电容式微弱信号检测的需要,提出了一种基于单载波激励和环形二极管解调的方案,主要包含C/V转换、带通滤波,环形二极管解调,差动放大等环节。基于PSpice的仿真与测试实验表明,检测灵敏度可达3.12V/pF,可满足通常MEMS器件的纳米级微位移测量。该电路具有体积小、功耗低、易集成等特点,对于微加速度计、陀螺仪、压力传感器等具有良好的实用价值。

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