%0 Journal Article
%T 微机电系统电容式微位移检测电路研究
%A 刘建新
%J 煤炭工程
%P 88-90
%D 2013
%R doi：10.11799/ce201312031
%X 针对通常微机电系统(MEMS)器件或仪表中微小位移/角度等电容式微弱信号检测的需要，提出了一种基于单载波激励和环形二极管解调的方案，主要包含C/V转换、带通滤波，环形二极管解调，差动放大等环节。基于PSpice的仿真与测试实验表明，检测灵敏度可达3.12V/pF，可满足通常MEMS器件的纳米级微位移测量。该电路具有体积小、功耗低、易集成等特点，对于微加速度计、陀螺仪、压力传感器等具有良好的实用价值。
%K 微机电系统
%K 电容式微位移检测
%K 二极管解调
%K 灵敏度
%U http://www.coale.com.cn/CN/abstract/abstract11042.shtml