单管体硅,SOI及DSOIMOSFET热分析

本文简单介绍了SOI和DSOI半导体器件制造技术,并提出了单管体硅,SOI及DSOIMOSFET的热阻模型。进而对体硅,SOIMOSFET器件,特别是DSOIMOSPET的热学特性进行数值计算,比较并分析了其数值计算结果。