%0 Journal Article
%T 单管体硅,SOI及DSOIMOSFET热分析
%A 刘宏伟
%A 梁新刚
%J 工程热物理学报
%P 461-463
%D 2002
%X 本文简单介绍了SOI和DSOI半导体器件制造技术,并提出了单管体硅,SOI及DSOIMOSFET的热阻模型。进而对体硅,SOIMOSFET器件,特别是DSOIMOSPET的热学特性进行数值计算,比较并分析了其数值计算结果。
%K SOI
%K DSOI
%K MOSFET
%K 热阻模型
%U http://jetp.iet.cn/CN/abstract/abstract6250.shtml