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ISSN: 2333-9721
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金刚石膜的厚度及背表面过渡层对热导率的影响

DOI: 10.11858/gywlxb.1997.01.011, PP. 61-65

Keywords: 金刚石膜,热导率,膜厚,背表面过渡层

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Abstract:

采用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法制备金刚石膜,研究了金刚石膜的厚度以及生长初期的SiC过渡层对其热导率的影响,给出了膜厚和背表面SiC过渡层减薄厚度与金刚石膜热导率的关系。

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