%0 Journal Article
%T 金刚石膜的厚度及背表面过渡层对热导率的影响
%A 顾长志
%A 金曾孙
%A 吕宪义
%A 邹广田
%A 张纪法
%A 方容川
%J 高压物理学报
%P 61-65
%D 1997
%R 10.11858/gywlxb.1997.01.011
%X 采用微波等离子体化学气相沉积（MWPCVD）方法制备金刚石膜，研究了金刚石膜的厚度以及生长初期的SiC过渡层对其热导率的影响，给出了膜厚和背表面SiC过渡层减薄厚度与金刚石膜热导率的关系。
%K 金刚石膜
%K 热导率
%K 膜厚
%K 背表面过渡层
%U http://www.gywlxb.cn/CN/abstract/abstract922.shtml