用甲醇-氢混合气源在不锈钢上生长金刚石薄膜的研究
DOI: 10.11858/gywlxb.1996.03.012, PP. 236-240
Keywords: 甲醇-氢混合气,不锈钢,金刚石薄膜,微波等离子体化学气相沉积
Abstract:
利用甲醇-氢（CH3OH-H2）混合气体为气源，30nm厚的无定形硅为过渡层，借助于微波等离子体化学气相沉积（MWCVD）成功地将金刚石薄膜生长在不锈钢上，其最低生长温度可至420℃，并且甲醇-氢混合气体比传统的甲烷-氢（Ch4-H2）更具优势，测试表明这种金刚石薄膜有希望作为耐磨层在工业上应用。
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