%0 Journal Article
%T 用甲醇-氢混合气源在不锈钢上生长金刚石薄膜的研究
%A 张小平
%J 高压物理学报
%P 236-240
%D 1996
%R 10.11858/gywlxb.1996.03.012
%X 利用甲醇-氢（CH3OH-H2）混合气体为气源，30nm厚的无定形硅为过渡层，借助于微波等离子体化学气相沉积（MWCVD）成功地将金刚石薄膜生长在不锈钢上，其最低生长温度可至420℃，并且甲醇-氢混合气体比传统的甲烷-氢（Ch4-H2）更具优势，测试表明这种金刚石薄膜有希望作为耐磨层在工业上应用。
%K 甲醇-氢混合气
%K 不锈钢
%K 金刚石薄膜
%K 微波等离子体化学气相沉积
%U http://www.gywlxb.cn/CN/abstract/abstract942.shtml