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ISSN: 2333-9721
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室温下用脉冲激光沉积E-BN薄膜

DOI: 10.11858/gywlxb.2002.04.010, PP. 297-300

Keywords: E-BN薄膜,脉冲激光沉积,扫描电镜,红外吸收光谱,X射线衍射

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Abstract:

在利用等离子体增强脉冲激光沉积系统沉积立方氮化硼(cBN)薄膜时,发现了氮化硼(BN)材料的E-BN相,并利用扫描电镜和红外吸收光谱及X射线衍射技术对薄膜样品进行了分析,得到了制备较高质量E-BN薄膜的一些热力学参数及时间参数,验证了现有的E-BN结构的形成理论。

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