%0 Journal Article
%T 室温下用脉冲激光沉积E-BN薄膜
%A 任志昂
%A 张灿云
%A 钟向丽
%A 王金斌
%A 杨国伟
%J 高压物理学报
%P 297-300
%D 2002
%R 10.11858/gywlxb.2002.04.010
%X 在利用等离子体增强脉冲激光沉积系统沉积立方氮化硼（cBN）薄膜时，发现了氮化硼（BN）材料的E-BN相，并利用扫描电镜和红外吸收光谱及X射线衍射技术对薄膜样品进行了分析，得到了制备较高质量E-BN薄膜的一些热力学参数及时间参数，验证了现有的E-BN结构的形成理论。
%K E-BN薄膜
%K 脉冲激光沉积
%K 扫描电镜
%K 红外吸收光谱
%K X射线衍射
%U http://www.gywlxb.cn/CN/abstract/abstract603.shtml