DISPERSIóN ASISTIDA POR MAGNETRóN EN PELíCULAS DE TiN

Por medio de la técnica PVD (Deposición física en fase vapor), de dispersión asistida por un magnetrón, se depositó un recubrimiento de TiN sobre sustratos de acero grado herramienta D2 a partir de un blanco de titanio en una mezcla de gases de Ar y N2. Los recubrimientos fueron depositados a temperaturas alrededor de 400oC de sustrato, observándose una significativa variación en el color clásico dorado y la dureza. Los resultados obtenidos mediante SEM (Microscopio Electrónico de Barrido) y difracción de rayos X revelan que hubo un cambio de coloración, composición y dureza al variar las condiciones de tiempo de depositación y distancia de trabajo sobre los sustratos. Esto fue corroborado en los resultados obtenidos por mediciones de dureza con un microdurómetro Mitutoyo. La microscopía electrónica de barrido reveló una morfología columnar. Utilizando un microindentador Vickers se obtuvo la dureza de los recubrimientos para las muestras analizadas. By means of the PVD (Physical Vapour Deposition) technique using magnetron assisted dispersion, a film of TiN it was deposited on sustrates of tool grade steel D2, starting from a titanium target in a mixture of Ar and N2 gases. The films was deposited at sustrate temperatures around 400oC. A significant surface change in the typical golden color and in the hardness was observed. The results obtained using SEM (Scanning Electron Microscope) and diffraction of X rays reveal that there was a change of coloration, composition and hardness when varying the conditions of deposition times and working distances. This was confirmed in the results obtained by hardness measurements using a Mitutoyo microdurometer. The scanning electronic microscopy revealed a columnar morphology. Vickers hardness measurements were performed on all samples.