%0 Journal Article
%T DISPERSI車N ASISTIDA POR MAGNETR車N EN PEL赤CULAS DE TiN
%A Rubin Ortega de la Rosa
%A Claudia Franco M.
%A Eduardo Vald谷s C.
%A Guillermo de Anda Rodr赤guez
%J Revista Facultad de Ingenier赤a - Universidad de Tarapac芍
%D 2005
%I 
%X Por medio de la t谷cnica PVD (Deposici車n f赤sica en fase vapor), de dispersi車n asistida por un magnetr車n, se deposit車 un recubrimiento de TiN sobre sustratos de acero grado herramienta D2 a partir de un blanco de titanio en una mezcla de gases de Ar y N2. Los recubrimientos fueron depositados a temperaturas alrededor de 400oC de sustrato, observ芍ndose una significativa variaci車n en el color cl芍sico dorado y la dureza. Los resultados obtenidos mediante SEM (Microscopio Electr車nico de Barrido) y difracci車n de rayos X revelan que hubo un cambio de coloraci車n, composici車n y dureza al variar las condiciones de tiempo de depositaci車n y distancia de trabajo sobre los sustratos. Esto fue corroborado en los resultados obtenidos por mediciones de dureza con un microdur車metro Mitutoyo. La microscop赤a electr車nica de barrido revel車 una morfolog赤a columnar. Utilizando un microindentador Vickers se obtuvo la dureza de los recubrimientos para las muestras analizadas. By means of the PVD (Physical Vapour Deposition) technique using magnetron assisted dispersion, a film of TiN it was deposited on sustrates of tool grade steel D2, starting from a titanium target in a mixture of Ar and N2 gases. The films was deposited at sustrate temperatures around 400oC. A significant surface change in the typical golden color and in the hardness was observed. The results obtained using SEM (Scanning Electron Microscope) and diffraction of X rays reveal that there was a change of coloration, composition and hardness when varying the conditions of deposition times and working distances. This was confirmed in the results obtained by hardness measurements using a Mitutoyo microdurometer. The scanning electronic microscopy revealed a columnar morphology. Vickers hardness measurements were performed on all samples.
%K PVD
%K magnetr車n
%K TiN
%K sustratos
%K SEM
%K PVD
%K magnetron
%K TiN
%K substrates
%K SEM
%U http://www.scielo.cl/scielo.php?script=sci_arttext&pid=S0718-13372005000200004