ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPIQUE

: L’ellipsométrie est une technique optique d’analyse de surface fondée sur la mesure du changement de l’état de polarisation de la lumière après réflexion sur une surface plan.La mesure ellipsométrique comporte trois étapes indispensables : l’étalonnage de l’instrument, la mesure proprement dite et l’analyse des données. L’ellipsométrie spectroscopique effectue des mesures sur tout un spectre et concerne des structures complexes: multicouches, rugosité (interface, homogénéité …).Les domaines d’application de l’ellipsométrie sont de plus en plus larges .Elle s’annonce déjà comme un outil de prédilection des nanotechnologies. Par ailleurs de nombreuses applications sont envisagées telles que la photoélasticimétrie en mécanique, l’optique cristalline, la saccharimétrie en chimie, la mesure de l’effet faraday en magnétisme et la mesure des effets Kerr en électricité.Nous présentons dans cet article la technique spectroscopique et ses diverses applications.