%0 Journal Article
%T ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPIQUE
%A N. GHELLAI
%A A. BENMANSOUR
%J Technologies de Laboratoire
%D 2009
%I TECHNOP
%X : L¡¯ellipsom¨¦trie est une technique optique d¡¯analyse de surface fond¨¦e sur la mesure du changement de l¡¯¨¦tat de polarisation de la lumi¨¨re apr¨¨s r¨¦flexion sur une surface plan.La mesure ellipsom¨¦trique comporte trois ¨¦tapes indispensables : l¡¯¨¦talonnage de l¡¯instrument, la mesure proprement dite et l¡¯analyse des donn¨¦es. L¡¯ellipsom¨¦trie spectroscopique effectue des mesures sur tout un spectre et concerne des structures complexes: multicouches, rugosit¨¦ (interface, homog¨¦n¨¦it¨¦ ¡­).Les domaines d¡¯application de l¡¯ellipsom¨¦trie sont de plus en plus larges .Elle s¡¯annonce d¨¦j¨¤ comme un outil de pr¨¦dilection des nanotechnologies. Par ailleurs de nombreuses applications sont envisag¨¦es telles que la photo¨¦lasticim¨¦trie en m¨¦canique, l¡¯optique cristalline, la saccharim¨¦trie en chimie, la mesure de l¡¯effet faraday en magn¨¦tisme et la mesure des effets Kerr en ¨¦lectricit¨¦.Nous pr¨¦sentons dans cet article la technique spectroscopique et ses diverses applications.
%K Ellipsom¨¦trie
%K polarisation
%K technique spectroscopique
%K applications
%U http://www.technolabo.ma/TL13-1.pdf