生理传感器──用AFM测非常小的力

原子力显微镜（ＡＦＭ）不仅被用来成像，而且可以用来测量非常小的力。如接触模式的ＡＦＭ，它的悬臂是由小的薄细丝状的金刚砂氮化物构成长１００－３００μｍ，宽２０－４０μｍ，厚０．４－０．８μｍ。共振频率５－１００ｋＨｚ，力常数为０．００１－０．５Ｎ／ｍ。机械振动、涡流、温度改变都可以导致悬臂偏转。它的偏转通过激光束反射到相应位置的光电二极管上来测量，可达超微米的高分辨率。当悬臂由两层不同材料组成时，比如接触式ＡＦＭ的悬臂用金刚砂氮化物和金（用以改进反射）做成。由于两种材料热胀系数不同，当温度改变时，…