%0 Journal Article
%T 生理传感器──用AFM测非常小的力
%A 侯淑莲
%A 李石玉
%J 现代物理知识
%D 2001
%I 
%X 原子力显微镜（ＡＦＭ）不仅被用来成像，而且可以用来测量非常小的力。如接触模式的ＡＦＭ，它的悬臂是由小的薄细丝状的金刚砂氮化物构成长１００－３００μｍ，宽２０－４０μｍ，厚０．４－０．８μｍ。共振频率５－１００ｋＨｚ，力常数为０．００１－０．５Ｎ／ｍ。机械振动、涡流、温度改变都可以导致悬臂偏转。它的偏转通过激光束反射到相应位置的光电二极管上来测量，可达超微米的高分辨率。当悬臂由两层不同材料组成时，比如接触式ＡＦＭ的悬臂用金刚砂氮化物和金（用以改进反射）做成。由于两种材料热胀系数不同，当温度改变时，…
%K 生理传感器
%K 原子力显微镜
%K AFM
%K 传感器设计
%K 偏转检测器
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=1C031B2B4922AA5094987D80AEBA807E&aid=C3D3AA4F56A469BA913C97D9EBFB891B&yid=14E7EF987E4155E6&vid=59906B3B2830C2C5&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=27746BCEEE58E9DC&eid=339D79302DF62549&journal_id=1001-0610&journal_name=现代物理知识&referenced_num=0&reference_num=0