溅射工艺对MoS_2溅射膜性能的影响

为了进一步认识溅射MoS_2的成膜机理和提高该膜的性能,作者进行了溅射工艺对该膜性能影响的研究并考察了溅射电压、氨气压力、镀层厚度、底材形态与膜的淀积速率和耐磨寿命间的关系。这些结果表明,膜的淀积速率,耐磨寿命受电压和气压的影响具有一定的规律,膜的生长状态随厚度的增长而有所变化,使膜的颜色由灰色逐渐变为烟黑色,相应的淀积速率也有明显的不同。