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ISSN: 2333-9721
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STM在微加工中的应用

Keywords: 扫描隧道显微镜,表面加工工具,空间分辨率,大规模集成电路

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Abstract:

由王大文博士、白春礼研究员所撰写的这篇文章,学部委员朱洪元先生的评语是:“本文介绍了扫描隧道显微镜(STM)在微细加工中的应用,内容充实,表达清晰,是介绍最近几年才开始发展起来的这一领域的一篇很好的文章,可以在本刊发表.”

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