%0 Journal Article
%T STM在微加工中的应用
%A 王大文
%A 白春礼
%J 现代物理知识
%D 1992
%I 
%X 由王大文博士、白春礼研究员所撰写的这篇文章，学部委员朱洪元先生的评语是：“本文介绍了扫描隧道显微镜(STM)在微细加工中的应用，内容充实，表达清晰，是介绍最近几年才开始发展起来的这一领域的一篇很好的文章，可以在本刊发表．”
%K 扫描隧道显微镜
%K 表面加工工具
%K 空间分辨率
%K 大规模集成电路
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=1C031B2B4922AA5094987D80AEBA807E&aid=37E96848847A8B0C3E3F56ECF3BFD3DF&yid=F53A2717BDB04D52&vid=38B194292C032A66&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=59906B3B2830C2C5&eid=F3583C8E78166B9E&journal_id=1001-0610&journal_name=现代物理知识&referenced_num=0&reference_num=0