通孔结构阳极氧化铝湿敏传感器的制备与性能表征

以0．5mol／L草酸为电解液，在40V直流电压、0-5℃下采用二步氧化法制备通孔阳极氧化铝膜片，用射频磁控溅射在膜片上下表面沉积金电极，成功地制备了一种通孔结构湿敏传感器．湿度．阻抗特性测试显示，该传感器不但可在12％～97％的相对湿度范围内具有良好的阻抗．湿度线性变化关系，而且具有响应恢复速度快、重复稳定性好的特征．