%0 Journal Article
%T 通孔结构阳极氧化铝湿敏传感器的制备与性能表征
%A 凌志远
%A 陈烁烁
%A 王金池
%A 李屹
%J 科学通报
%D 2007
%I 
%X 以0．5mol／L草酸为电解液，在40V直流电压、0-5℃下采用二步氧化法制备通孔阳极氧化铝膜片，用射频磁控溅射在膜片上下表面沉积金电极，成功地制备了一种通孔结构湿敏传感器．湿度．阻抗特性测试显示，该传感器不但可在12％～97％的相对湿度范围内具有良好的阻抗．湿度线性变化关系，而且具有响应恢复速度快、重复稳定性好的特征．
%K 湿敏传感器
%K 阳极氧化铝
%K 多孔电极
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=01BA20E8BA813E1908F3698710BBFEFEE816345F465FEBA5&cid=7C7E63796F062382A606A3A9833B8C05&jid=B40D4BA57FF46E45205A09B4DC283152&aid=5D4D19BA06F4955D5DED1ECDDAB7C1A9&yid=A732AF04DDA03BB3&vid=286FB2D22CF8D013&iid=59906B3B2830C2C5&sid=D3EC5D34434DACC5&eid=969830E7B1842E81&journal_id=0023-074X&journal_name=科学通报&referenced_num=0&reference_num=17