非平衡等离子体化学研究现状与进展

现在人们研究的非平衡等离子体大多是在低气压（1.33 Pa～1.33 kPa）、低质量流量条件下,由射频（13.5 MHz）、微波（2450 MHz）以及交、直流高电压激发的辉光放电产生的,作为一种直接向反应体系施加能量的方法,已在等离子体化学合成与分解、溅射制膜、气相淀积、聚合与引发聚合、材料表面改性、沉积刻蚀和低温灰化等方面应用,取得了引人瞩目的应用效果.Maezono等人1]在压力为0.08 kPa,Ar作