%0 Journal Article
%T 非平衡等离子体化学研究现状与进展
%A 白希尧
%A 张芝涛
%A 白敏冬
%A 韩慧
%J 科学通报
%D 2002
%I 
%X 现在人们研究的非平衡等离子体大多是在低气压（1.33 Pa～1.33 kPa）、低质量流量条件下,由射频（13.5 MHz）、微波（2450 MHz）以及交、直流高电压激发的辉光放电产生的,作为一种直接向反应体系施加能量的方法,已在等离子体化学合成与分解、溅射制膜、气相淀积、聚合与引发聚合、材料表面改性、沉积刻蚀和低温灰化等方面应用,取得了引人瞩目的应用效果.Maezono等人1]在压力为0.08 kPa,Ar作
%K 非平衡等离子体化学
%K 高气压
%K 化学反应
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=01BA20E8BA813E1908F3698710BBFEFEE816345F465FEBA5&cid=7C7E63796F062382A606A3A9833B8C05&jid=B40D4BA57FF46E45205A09B4DC283152&aid=A078D75C508280AF&yid=C3ACC247184A22C1&vid=F4B561950EE1D31A&iid=94C357A881DFC066&sid=4AD4BA66429F5627&eid=3224764AEAFCF8C2&journal_id=0023-074X&journal_name=科学通报&referenced_num=18&reference_num=16