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ISSN: 2333-9721
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科学通报  2003 

( Ni0.81Fe0.19) 1-xCrx缓冲层上生长高各向异性磁电阻Ni0.81Fe0.19薄膜的研究

Keywords: Ni0.81Fe0.19薄膜,直流磁控溅射法,薄膜结构,(Ni0.81Fe0.19)1-xCrx缓冲层,各向异性磁电阻,晶粒尺寸,Ni0.81Fe0.19(111)衍射峰

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Abstract:

用直流磁控溅射方法制备了以(Ni0.81Fe0.19)1-xCrx为缓冲层的Ni.081Fe0.19薄膜,研究结果表明:当缓冲层厚度约为4.4nm,Cr的浓度约为36(原子百分数)时,Ni0.81Fe0.19薄膜的各向异性磁电阻(AMR)值较大,其最大值达3.35%,原子力显微镜(AFM)及X射线衍射(XRD)研究表明:Ni0.81Fe0.19薄膜AMR值最大时,其表面平均晶粒尺寸最大,Ni0.81F0.19(111)衍射峰最强。

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