Effect of Ion Implantation on the Interface Chemical States a nd Tribological Behavior of Amorphous Carbon Film on SiO2 Substrate
离子注入对SiO2表面非晶碳薄膜的化学状态及摩擦学性能的影响

Keywords: 离子束混合,非晶碳薄膜,摩擦学性能,离子注入,结合强度

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Abstract:

采用真空蒸镀法在SiO

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