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ISSN: 2333-9721
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科学通报  1995 

同步辐射辐照下Mo/Si,Pd/Si多层膜的稳定性

Keywords: 多层膜,同步辐射,辐照,稳定性,,

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Abstract:

随着众多同步辐射装置的建成和完善,软X射线光学得到迅速发展.由于同步辐射能量密度较高,可能使光束线上的插入元件温升很高.因为辐照对化学反应有促进作用,故此在同步辐射辐照下,作为反射、色散元件的人工周期性多层膜的稳定性是一个值得研究的问

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