软X射线宽带多层膜设计与实验

以周期膜理论为基础，改进了已有的设计方法，采用随机数的方法在１８￣２０ｎｍ波段设计了积分反射率最大的宽带多层膜，理论上得到了高于周期膜系８％的积发反射率。同时给出了整体的设计步骤，并用磁控溅方法对其进行了制备。