%0 Journal Article
%T 软X射线宽带多层膜设计与实验
%A 王占山
%A 柯常军
%A 马月英
%A 张铁强
%A 曹健林
%A 陈星旦
%J 科学通报
%D 1999
%I 
%X 以周期膜理论为基础，改进了已有的设计方法，采用随机数的方法在１８￣２０ｎｍ波段设计了积分反射率最大的宽带多层膜，理论上得到了高于周期膜系８％的积发反射率。同时给出了整体的设计步骤，并用磁控溅方法对其进行了制备。
%K 软X射线
%K 多层膜
%K 随机数
%K 磁控溅射
%K 反射率
%K 制备
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=01BA20E8BA813E1908F3698710BBFEFEE816345F465FEBA5&cid=7C7E63796F062382A606A3A9833B8C05&jid=B40D4BA57FF46E45205A09B4DC283152&aid=BBD450EDEDA76579&yid=B914830F5B1D1078&vid=1AE5323881A5ECDC&iid=9CF7A0430CBB2DFD&sid=8587C7CAA7A3D0DB&eid=3C5A0072CBF0FE42&journal_id=0023-074X&journal_name=科学通报&referenced_num=1&reference_num=5