红外光刻机

红外光刻机是电子工业,特别是硅、砷化镓等半导体器件梁式引线制造工艺中不可缺少的一项设备。我们采用国产的元件和材料,试制了一台红外光刻机(图1)。它系台式整体结构,体积较小(约380×350×400毫米),重量约28公斤左右,可以放在净化台中工作。