%0 Journal Article
%T 红外光刻机
%J 科学通报
%D 1974
%I 
%X 红外光刻机是电子工业,特别是硅、砷化镓等半导体器件梁式引线制造工艺中不可缺少的一项设备。我们采用国产的元件和材料,试制了一台红外光刻机(图1)。它系台式整体结构,体积较小(约380×350×400毫米),重量约28公斤左右,可以放在净化台中工作。
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=01BA20E8BA813E1908F3698710BBFEFEE816345F465FEBA5&cid=7C7E63796F062382A606A3A9833B8C05&jid=B40D4BA57FF46E45205A09B4DC283152&aid=60FCEC3D8BE9406B556C88BC8188F2D8&yid=CF7717776B0449E1&vid=2A8D03AD8076A2E3&iid=5D311CA918CA9A03&sid=0918129209B14F3E&eid=0918129209B14F3E&journal_id=0023-074X&journal_name=科学通报&referenced_num=0&reference_num=0