Reliability Study of Microelectronics Process
微电子工艺可靠性研究

可靠性是产品质量的重要组成部分,微电子工艺可靠性是保证IC产品可靠性的关键一环,从IC生 产环节考虑,详细讨论了微电子工艺可靠性及其保证措施,重点讨论了原材料控制、设备与工艺控制及洁 净环境控制的重要性,这些因素是生产高可靠性IC产品的有力保证,