%0 Journal Article
%T Reliability Study of Microelectronics Process<br>微电子工艺可靠性研究
%A 杨虹
%J 重庆邮电大学学报(自然科学版)
%D 2003
%I 
%X 可靠性是产品质量的重要组成部分,微电子工艺可靠性是保证IC产品可靠性的关键一环,从IC生 产环节考虑,详细讨论了微电子工艺可靠性及其保证措施,重点讨论了原材料控制、设备与工艺控制及洁 净环境控制的重要性,这些因素是生产高可靠性IC产品的有力保证,
%K 可靠性
%K 微电子
%K 集成电路
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=01BA20E8BA813E1908F3698710BBFEFEE816345F465FEBA5&cid=96E6E851B5104576C2DD9FC1FBCB69EF&jid=5C2694A2E5629ECD6B59D7B28C6937AD&aid=6C6B94B613D7E049&yid=D43C4A19B2EE3C0A&vid=23CCDDCD68FFCC2F&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=CD775AE9DDBD7B53&eid=7E8E8B150580E4AB&journal_id=1673-825X&journal_name=重庆邮电大学学报(自然科学版)&referenced_num=0&reference_num=7