A STUDY OF INTERDIFFUSION OF Pd/Ag BILAYER THIN FILMS BY X-RAY DIFFRACTION STRUCTURE DEPTH PROFILING
Pd／Ag双层膜系统扩散过程的XRD结构深度分布分析

研究了Ｘ射线衍射的结构深度分布分析新方法，该方法以不同的入射角入射，测量各物查的衍射谱，进而解出中确定深度处薄层的Ｘ射线衍射谱，从而可无损和定量地得到各深度处的衍射线的角度位置，强度和线型等全部结构信息，此方法可是到各确定深度处 结构信息，而不是由表面到某深度处的平均结构信息；并且适用于具有择优取向的样品和吸收系数随深度而变化的样品。