%0 Journal Article
%T A STUDY OF INTERDIFFUSION OF Pd/Ag BILAYER THIN FILMS BY X-RAY DIFFRACTION STRUCTURE DEPTH PROFILING
Pd/Ag双层膜系统扩散过程的XRD结构深度分布分析
%A TAO Kun
%A LI Bin
%A LUO Jian
%A
陶琨
%A 李彬
%A 骆建
%J 金属学报
%D 1997
%I
%X 研究了X射线衍射的结构深度分布分析新方法,该方法以不同的入射角入射,测量各物查的衍射谱,进而解出中确定深度处薄层的X射线衍射谱,从而可无损和定量地得到各深度处的衍射线的角度位置,强度和线型等全部结构信息,此方法可是到各确定深度处 结构信息,而不是由表面到某深度处的平均结构信息;并且适用于具有择优取向的样品和吸收系数随深度而变化的样品。
%K structure depth profiling
%K XRD
%K Pd/Ag
%K thin films
结构深度分布
%K X射线衍射
%K 薄膜
%K 双层膜
%K XRD
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=AB188D3B70B071C57EB64E395D864ECE&jid=B061E1135F1CBDEE96CD96C109FEAD65&aid=17FA1B7742901161B85E5B1DA60E4624&yid=5370399DC954B911&vid=27746BCEEE58E9DC&iid=DF92D298D3FF1E6E&sid=81D76BB45305F8B7&eid=0B9C8D3D9D6254B2&journal_id=0412-1961&journal_name=金属学报&referenced_num=2&reference_num=6