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ISSN: 2333-9721
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红外  2008 

集成电路红外传感器

Keywords: 红外传感器,集成电路,红外辐射加热,传感元件,热电偶,控制器,输出信号,加工工艺

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Abstract:

这是一种在一块衬底上至少包括一个传感元件的集成电路传感器,其传感元件中有两个相互连接的热电

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