%0 Journal Article %T 集成电路红外传感器 %A 高 %J 红外 %D 2008 %I %X 这是一种在一块衬底上至少包括一个传感元件的集成电路传感器,其传感元件中有两个相互连接的热电 %K 红外传感器 %K 集成电路 %K 红外辐射加热 %K 传感元件 %K 热电偶 %K 控制器 %K 输出信号 %K 加工工艺 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=3723000AE493FCE650601982177048B1&aid=E6472B5F4E0C2771BC4D4E7562E1C501&yid=67289AFF6305E306&vid=771469D9D58C34FF&iid=B31275AF3241DB2D&sid=D997634CFE9B6321&journal_id=1672-8785&journal_name=红外&referenced_num=0&reference_num=0