用多通道传感器测量薄膜厚度

本发明提供一种用以分析薄膜特性的系统和方法。由于采用了具有多个探测通道的红外传感器和合适的滤光片,该系统能够瞬时探测干涉条纹的特征。该测量系统的工作步骤如下: