%0 Journal Article
%T 用多通道传感器测量薄膜厚度
%A 高
%J 红外
%D 2006
%I 
%X 本发明提供一种用以分析薄膜特性的系统和方法。由于采用了具有多个探测通道的红外传感器和合适的滤光片,该系统能够瞬时探测干涉条纹的特征。该测量系统的工作步骤如下:
%K 红外传感器
%K 测量系统
%K 薄膜厚度
%K 多通道
%K 探测通道
%K 薄膜特性
%K 干涉条纹
%K 滤光片
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=3723000AE493FCE650601982177048B1&aid=E515BE1B46707A16AB87978EB232B829&yid=37904DC365DD7266&vid=DB817633AA4F79B9&iid=F3090AE9B60B7ED1&sid=B6DA1AC076E37400&eid=B6DA1AC076E37400&journal_id=1672-8785&journal_name=红外&referenced_num=0&reference_num=0