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ISSN: 2333-9721
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红外 2003

制备HgCdTe红外焦平面器件的离子注入技术

Keywords: 离子注入技术,碲镉汞光伏型红外焦平面器件,光电效应,PN结,掺杂技术,液相外延,分子束外延,X衍射表征

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Abstract:

1 前言啼镉汞光伏型红外焦平面列阵器件(IRF-PAs)是以外延材料为基础发展起来的,其基本工作原理利用了P-n结的光电效应。目前,碲镉汞光伏型红外焦平面的器件结构主要是离子注入形成的n-on-p和p-on-n平面结。虽然现在已

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