热红外探测器

热红外探测器有多种不同的类型,如测辐射热计型、热释电型以及热电偶型等。这些热红外探测器都有一个用于提高探测灵敏度的隔热结构,即所谓的膜片结构。在这种隔热结构中,膜片外缘与衬底之间是靠许多梁支撑的。