%0 Journal Article
%T 热红外探测器
%A 高编
%J 红外
%D 2003
%I 
%X 热红外探测器有多种不同的类型,如测辐射热计型、热释电型以及热电偶型等。这些热红外探测器都有一个用于提高探测灵敏度的隔热结构,即所谓的膜片结构。在这种隔热结构中,膜片外缘与衬底之间是靠许多梁支撑的。
%K 热红外探测器
%K 读出电路
%K 像元
%K 探测灵敏度
%K 隔热结构
%K 膜片
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=3723000AE493FCE650601982177048B1&aid=F7BB0957EDBE1380C783D3B0F66F2DDD&yid=D43C4A19B2EE3C0A&iid=94C357A881DFC066&sid=D997634CFE9B6321&eid=D997634CFE9B6321&journal_id=1672-8785&journal_name=红外&referenced_num=0&reference_num=0