Ⅲ族氮化物材料制备

Ⅲ族氮化物材料是继Si和GaAs后又一类重要的半导体材料。本文主要介绍了用几种外延技术制备GaN材料的方法，并介绍了一种与GaN晶格匹配的新型衬底材料。